चुंबकीय रूप से लेविटेड टर्बोपंप और पम्पिंग सिस्टम सीएक्सएफ-250/2301ई

मैग्लेव पंप, CXF-250/2301E, वाटर कूलिंग, ऑन बोर्ड

चुंबकीय रूप से उत्तोलन आणविक पंप ऐसे पंप होते हैं जिनमें चुंबकीय बल के आधार पर शाफ्टिंग का समर्थन किया जाता है।

श्रृंखला चुंबकीय रूप से उत्तोलन आणविक पंप आधुनिक अर्धचालक निर्माण, चिप निर्माण, औद्योगिक चढ़ाना और वैज्ञानिक उपकरणों के क्षेत्रों के लिए आवेदन आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए केवाईकेवाई द्वारा विकसित वैक्यूम पीढ़ी के उपकरण हैं।

प्रौद्योगिकी:

• चुंबकीय असर के लिए नियंत्रण प्रौद्योगिकी: एक 5-अक्ष चुंबकीय रूप से उन्नत अंतरराष्ट्रीय नियंत्रण सिद्धांत के आधार पर, स्थिर उत्तोलन और विश्वसनीय संचालन के रूप में उच्च गति शाफ्टिंग के ऐसे महत्वपूर्ण लाभों की गारंटी के लिए।
• मोटर ड्राइव नियंत्रण प्रौद्योगिकी: उच्च दक्षता वाली उच्च गति वाली डीसी मोटर और सर्वो नियंत्रण प्रणाली, जिसमें मोटर की अधिकतम ऊर्जा होती है और स्वचालित रूप से शाफ्टिंग की घूर्णन गति की भरपाई होती है, जिससे स्थिर स्टार्ट-अप, विश्वसनीय संचालन और गतिशील ऊर्जा के स्वचालित विनियमन कार्य का एहसास होता है।
• कार्बन फाइबर कम्पोजिट रोटर तकनीक: उच्च शक्ति वाले एल्यूमीनियम मिश्र धातु और हल्के वजन वाले कार्बन फाइबर को मिलाकर बनाया गया है।वजन में भारी कमी और ताकत के महान सुधार की विशेषता है, ताकि उच्च घूर्णन गति, उच्च प्रदर्शन और उच्च विश्वसनीयता के लक्ष्य प्राप्त किए जा सकें।
• संक्षारण प्रतिरोधी तकनीक: कक्षों में भागों की सतहों को विशेष प्रक्रिया के साथ व्यवहार किया जाता है, ताकि सतह लंबे समय तक अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाओं में संक्षारक गैसों के कारण जंग का विरोध कर सकें।इसके अलावा, N2 जैसी अक्रिय गैसें पंपों में कम वैक्यूम भागों की रक्षा के लिए पंपों की शाफ्टिंग में पूरी तरह से भरी जाती हैं, ताकि लंबे समय तक संक्षारक गैसों को स्थिर रूप से समाप्त करने के कार्य को महसूस किया जा सके।
• ताप तापमान नियंत्रण प्रणाली: एक इलेक्ट्रिक हीटर और एक तापमान नियंत्रक से लैस, ठंडा पानी, एयर-बोन हीटिंग, इलेक्ट्रिक हीटिंग और सुरक्षात्मक गैसों द्वारा की जाने वाली गर्मी की निगरानी और संचालन के दौरान नियंत्रित किया जा सकता है, पंपों में तापमान लंबे समय तक कुछ मूल्य पर बनाए रखा जा सकता है, कुछ गैसीय पदार्थों को सामान्य तापमान पर ठोस पदार्थों में परिवर्तित नहीं किया जाता है और पंपों में जमा नहीं किया जाता है, और विशेष प्रक्रिया जैसे नक़्क़ाशी की आवश्यकताओं को पूरा किया जा सकता है।

अनुप्रयोग:

श्रृंखला चुंबकीय रूप से उत्तोलन आणविक पंप मुख्य रूप से अर्धचालक निर्माण, क्लिप निर्माण, औद्योगिक चढ़ाना और वैज्ञानिक उपकरणों के क्षेत्रों में लागू होते हैं, विशेष रूप से ईच, सीवीडी, पीवीडी और आयन आरोपण में मौजूद संक्षारक गैसों के निष्कर्षण और सामान्य तापमान पर आसानी से जमा होने वाली गैसों के लिए।

विशेष विवरण: